超精密加工技术【2025|PDF|Epub|mobi|kindle电子书版本百度云盘下载】

超精密加工技术PDF格式电子书版下载

注意：本站所有压缩包均有解压码： 点击下载压缩包解压工具

第一章 绪论1

第一节 超精密加工技术的概念1

第二节 超精密加工技术的意义和应用3

第三节 超精密加工技术的新课题10

第二章 超精密加工基础12

第一节 决定加工精度的主要因素12

第二节 热变形15

第三节 力变形—刚度20

第四节 磨损25

第五节 表面质量29

第六节 超精密加工机械用的部件35

第七节 超精密加工环境46

第一节 绪言51

第三章 超精密切削51

第二节 超精密金刚石刀具切削的机理53

第三节 超精密切削加工用金刚石刀具65

第四节 金刚石刀具切削的精度与表面粗糙度78

第四章 超精密磨削92

第一节 概述92

第二节 磨削加工理论94

第三节 磨削表面质量和加工精度106

第四节 超精密磨削砂轮112

第五节 磨削条件122

第六节 砂轮电解镜面的磨削125

第五章 超精密研磨与抛光131

第一节 绪言131

第二节 研磨、抛光用磨料136

第三节 研磨、抛光用的工具145

第四节 手工研磨与干式研磨148

第五节 平面机械研磨154

第六节 利用新原理的超精密研磨166

第六章 特种加工180

第一节 概述180

第二节 电火花加工180

第三节 电子束加工184

第四节 离子束加工188

第五节 激光加工192

第六节 电解加工200

第七节 超声波加工206

第七章 金属超精密加工实例213

第一节 球面非球面反射镜的超精密切削213

第二节 多面反射镜的超精密切削224

第三节 硬磁盘基片的超精密切削232

第四节 高精度模具加工246

第八章 硬脆非金属材料的超精密加工253

第一节 陶瓷加工253

第二节 磁头的超精密加工271

第三节 光学透镜、棱镜的加工289

第四节 反射光栅的加工303

第五节 石英振子的加工307

第六节 宝石加工311

第七节 金刚石的超精密加工327

第九章 半导体基片的超精密加工340

第一节 半导体基片的加工特性340

第二节 半导体基片的加工技术343

第三节 其他加工方法和加工装置364

第四节 半导体基片加工的外围技术370

参考文献378